А143589-АБ, А143590-АБ, А145870-АБ, А143591-ЧЗ А 22 Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники [Текст] : учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / под общ. ред. А. А. Сазонова. - Москва : Высш. шк., 1991. - 334 с. - ISBN 5-06-000731-6 : 1.60 р. Рубрики: Микроэлектроника Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Сазонов, А. А. \ред.\ Экземпляры всего: 4 АБ (3), ЧЗ (1) Свободны: АБ (3), ЧЗ (1) |