А160846-КХ П 78 Проблемы микроэлектронной технологии [Текст] / отв. ред. Л. В. Великов. - Москва : Наука, 1992. - 97, [3] с. : ил. - (Труды ФТИАН ; т. 4). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-006868-3 : 25.60 р. Рубрики: Микроэлектронная аппаратура--Производство--Сборники Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Великов, Л. В. \ред.\ Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |