А170082-КХ    32.844    П 78         Проблемы микроэлектронной технологии [Текст] / отв. ред. Л. В. Великов. - М. : Наука, 1994. - 126 с. - (Труды ФТИАН / Рос. АН, Физ.-технол. ин-т ; т. 8). - ISBN 5-02-007030-0 : 900.00 р.ББК 32.844.1я54 Рубрики: Микроэлектроника Держатели документа: ООПБ Доп.точки доступа: Великов, Л. В. \ред.\ Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1)