Афонин, С. М. Расчет статистических данных и динамических характеристик пьезодвигателя наноперемещений [Текст] / С. М. Афонин // Вестник машиностроения. - 2009. - N 4. - С. 3-6. Рубрики: Машиностроение--Конструирование--Расчет Кл.слова (ненормированные): конструирование -- расчет -- нанотехнология -- надежность машин -- пьезодвигатель -- испытание машин Аннотация: Рассчитаны статистические и динамические характеристики пьезодвигателя наноперемещений для оборудования нанотехнологии и микроэлектроники, определено влияние физических и геометрических параметров пьезодвигателя на статические и динамические характеристики. Экземпляры всего: 1 ПТО (1) Свободны: ПТО (1) |