938195-КХ    32.85    С 95     Сысоев, Валерий Васильевич.     Автоматизированное проектирование линий и комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства [Текст] / В. В. Сысоев. - Москва : Радио и связь, 1982. - 119 с. : ил. - Библиогр.: с. 114-117 (67 назв.). - ISBN 5-АВ-ПР-ЛИ-СЫ : 0.40 р.ББК 32.85-06-5-02 + 32.844.15-06-5-02 Рубрики: Полупроводниковые приборы--Производство--Оборудование--Автоматизация    Микроэлектронные схемы интегральные--Производство--Оборудование--Автоматизация Держатели документа: ООПБ Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1)