Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.85/С 95 Автор(ы) : Сысоев, Валерий Васильевич Заглавие : Автоматизированное проектирование линий и комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства Выходные данные : Москва: Радио и связь, 1982 Колич.характеристики :119 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 114-117 (67 назв.) ISBN, Цена 5-АВ-ПР-ЛИ-СЫ: 0.40 р. ББК : 32.85-06-5-02 + 32.844.15-06-5-02 Предметные рубрики: Полупроводниковые приборы-- Производство-- Оборудование-- Автоматизация Микроэлектронные схемы интегральные-- Производство-- Оборудование-- Автоматизация Экземпляры :КХ(1) Свободны : КХ(1) Держатели документа: ООПБ |